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发布日期：2024年08月16日
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金融界2024年8月14日消息，天眼查知识产权信息显示，绍兴中芯集成电路制造股份有限公司取得一项名为“用于半导体蚀刻设备的拆装工具、工具套装“，授权公告号 CN202322969086.6，申请日期为 2023 年 11 月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种用于半导体蚀刻设备的拆装工具、工具套装，拆装工具用于拆装紧固件，所述紧固件上具有凹槽，所述拆装工具包括：本体部、凸起部和连接部，本体部设置于所述本体部的第一表面上，连接部设置于所述本体部的第二表面上；其中，所述凸起部用于伸入所述凹槽，所述连接部用于连接拧紧器，以使所述拧紧器通过所述拆装工具对所述紧固件进行拧紧或者旋松。本申请的拆装工具通过连接部与拧紧器连接，在凸起部伸入到紧固件的凹槽内后，拧紧器通过拆装工具对紧固件进行拧紧或者旋松，从而可以实现紧固件的安装和拆卸，具有拆装方便，不会损坏紧固件等优点。
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